光栅传感器作为最重要的数控装备和数控系统功能部件，广泛应用于数控机床、精密仪器、机器人等领域，为当前国家振兴装备制造业重点突破的关键核心功能部件。长期以来，国内产品只能跟随国外产品进行二次复制。。该项目组开展了以下研究工作：

（1）高密度光栅精密测试技术：针对目前国内光栅系统随速度增大信号幅值下降问题，研究高速高精度光电信号处理方法；研究光栅系统综合误差模型，研发误差补偿模块。基于纳米测量的需要，目前设计光栅长度200mm，周期1100线/mm，全长度相位误差小于λ/100。

（2）绝对式光栅测量技术研究：开展绝对式光栅编码、解码原理研究，研究单码道无限长编码与解码技术，开发绝对式光栅测量系统，填补国内空白。目前对完成对单码道绝对式光栅编码规则与方法进行研究，完成了1.5长光栅尺的编码工作，并成功进行了制作。目前测试解码速度为0.5m/S，解码分辨率5um。

（3）二维光栅纳米测量技术研究

基于干涉相位测量技术以及SPM技术，研究创新型光栅纳米传感原理，研发一维、二维光栅纳米测量系统，研究纳米驱动与控制方法，开发纳米工作台。目前该传感器可在30mm*30mm范围内实现20nm的测量重复性。